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合肥昱馳真空技術與您相約江蘇！2025第三代半導體SiC晶體生長及晶圓加工技術研討會

隨著科學技術的飛速發展，半導體材料的革新速度也進一步加快。當前，碳化硅作為第三代半導體材料的典型代表，在新能源汽車、光伏、儲能等新興領域正快速滲透，已成為全球半導體產業的前沿和制高點。同時，我國“十四五”規劃已將碳化硅半導體納入重點支持領域，碳化硅半導體將在我國5G基站建設、特高壓、城際高速鐵路和城市軌道交通、新能源汽車充電樁、大數據中心等新基建領域發揮重要作用。

近年來，我國在SiC材料領域取得了顯著進展，但與國際先進水平相比，在晶體生長技術、晶圓加工技術等方面仍存在一定差距。SiC晶體生長過程中面臨著晶體缺陷控制、生長速率提升、晶體質量穩定性等難題；晶圓加工方面，則存在加工精度不足、良品率低、加工成本較高等挑戰。在當前倡導節能減排的大趨勢下，快速穩定地突破碳化硅單晶尺寸和質量等關鍵問題，才能夠更好地占據未來碳化硅市場。

在此背景下，中國粉體網將于2025年8月21日在江蘇·蘇州舉辦第三代半導體SiC晶體生長及晶圓加工技術研討會，大會將匯聚國內行業專家、學者、技術人員、企業界代表圍繞晶體生長工藝、關鍵原材料、生長設備及應用、碳化硅晶片切、磨、拋技術等方面展開演講交流。合肥昱馳真空技術有限公司作為參展單位邀請您共同出席。

合肥昱馳真空技術有限公司是一家致力于將國家科技部重大儀器儀表專項 “超高真空大抽速磁懸浮復合分子泵“科技成果進行轉化的高科技企業。自主創新研制了具有自主知識產權的超高真空大抽速磁懸浮復合分子泵，實現了磁懸浮超高真空分子泵產品的產業化生產，最終擺脫高端分子泵依賴國進口的現狀，解決了磁懸浮分子泵這一關鍵部件對我國半導體產業的卡脖子問題。

公司目前擁有一支以教授級高工領頭的研發團隊，一支有高級技師帶頭的技術工人隊伍，在研發、產業化工程研究及實施方面都有豐富的經驗，憑借在真空領域多年深入地耕耘，熟悉分子泵及真空裝備的國內市場動向，有能力快速實現磁懸浮分子泵及真空裝備的產業化和市場開拓。目前已引入大唐電信、華潤微、長江證券、龍芯中科、國投創業、季華投資、飛圖創投等戰略投資。

公司的控股子公司北京四海祥云流體科技有限公司是研發生產高真空分子泵的專業廠家，為雙高新企業(國家高新技術企業和中關村高新技術企業)。在真空產品(包括傳統軸承的分子泵)的研發生產方面積累了雄厚的技術經驗，而且目前已實現了機械軸承式分子泵的量產和市場推廣。

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