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特點：適用于壓力范圍為0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr，需要抽速較大的應用場合
運行壓力相對較低，可靠性極高
ZRS系列屬于高品質、無油泵結構
有效的軸封確保油不會進入泵腔，而且由于沒有內部和外部旁通管路和閥這些可能會被腐蝕的部件，因此將維護需求降至*低
對軸封的設計進行了優化，以確保潤滑劑不會遷移到泵腔，使泵在清潔度
要求極高的環境下發揮增壓泵的性能。此外，還可以防止在公差非常嚴格的轉子凸角和端面上聚集微塵顆粒
動平衡的轉子及精密研磨齒輪使泵的運行平穩、靜音，以滿足先進技術設備制造商的要求
應用：真空包裝、干燥及脫氣、真空冶金、真空蒸餾、薄膜涂層、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、冷凍干燥
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