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PECVD系統管式爐
PECVD系統管式爐

參考價格

10-20萬元

型號

PECVD

品牌

產地

鄭州

樣本

暫無
河南成儀設備科技有限公司

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第8年

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PECVD系統就是為了使傳統的化學氣象沉積(CVD)反應溫度降低,在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離,形成等離子體,利用等離子體的活性來促進反應,所以這個系統稱為增強型化學氣相沉積系統(PECVD)。

該型號PECVD為成儀**款,綜合了國內大多數廠家的管式PECVD系統的優點,成膜質量好,針孔較少,不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發的實驗電爐AIO全自動智能控制系統,使得操作更加簡便,功能更加強大。

主要特點:

1. AIO控制系統——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統一集中調節和操控,協調控制——成儀AIO控制系統;

2. 管內壓力自動平衡——管內壓力實時監測,自動平衡管內壓力。

3. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷,省時省力;

4. 射頻功率和開關定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間,自動運行;

5. 爐膛移動速度可調——根據實驗要求,用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離;

6. 整機結構融為一體——移動方便,避免分散組裝的困擾。

技 術 參 數


      加熱爐部分

      1

      爐膛模式

      開啟式爐膛

      2

      顯示模式

      7英寸觸摸屏

      3

      極限溫度

      1200

      4

      工作溫度

      1150

      5

      升溫速率

      建議10/Min   Max30/Min

      6

      加熱溫區

      溫區

      7

      單溫區長度

      200 mm

      8

      爐管規格

      60*1150 mm

      9

      控溫精度

      ±1℃

      10

      密封方式

      快速法蘭密封

      11

      溫度曲線

      30"時間溫度曲線"任意可設

      12

      預存曲線

      可預存15條溫度曲線

      13

      超溫報警

      14

      過流保護

      15

      斷偶提示

      16

      測溫元件

      K型熱電偶

      17

      爐膛材料

      氧化鋁纖維

      18

      外形尺寸

      800*560*1500MM


      射頻電源功率

      1

      信號頻率

      13.56 MHz±0.005%

      2

      功率輸出范圍

      5W-300W

      3

      功率穩定度

      ±0.1%

      4

      諧波分量

      ≤-50dbc

      5

      供電電壓

      單相交流(187V-253V 頻率50/60HZ

      6

      整機效率

      >=70%

      7

      功率因素

      >=90%

      8

      冷卻方式

      強制風冷

      9

      真空部分

      10

      工作電電壓

      220V±10%  50~60HZ

      11

      功率

      500W

      12

      抽氣速率

      2Ls

      13

      進氣口口徑

      KF16

      14

      排氣口口徑

      KF16

      15

      轉速

      1450rpm

      16

      噪音

      55dB

      17

      極限真空

      4X10-2Pa


      氣路系統(標配2路普通質量流量計,更精準的可選配)

      1

      1,2氣路采用DB07K系列

      準確度:±1.5%

      重復精度:±0.2%

      響應時間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

      工作壓差范圍:0.10.5 MPa

      2

      3路采用高精度CS200系列

      準確度:±0.35%FS  ±1.0%SP

      線性:±0.5%FS

      重復精度:±0.2%FS

      響應時間:氣特性:1Sec



      整機系統特色

      1

      正壓測量

      -100Kpa---100Kpa

      2

      真空測量

      10-2Pa ~100Kpa(支持Ar測量)

      3

      正壓保護

      支持

      4

      壓力恒定

      支持

      5

      智能氣路

      支持

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