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氫氟酸
本試劑為無色、具刺激性味的氟化氫水溶液，具有腐蝕性，劇毒；能強烈地侵蝕玻璃或含硅的物料。
分子式：HF
相對分子質量：20.01（按1989年國際相對原子質量）
技術要求
1. 氫氟酸（HF）含量不少于40.0%
2. 雜質**含量 %
| 名 稱 | 優級純 | 分析純 | 化學純 |
| 灼燒殘渣 (以硫酸鹽計) | 0.001 | 0.002 | 0.01 |
| 氯化物 (Cl) | 0.0005 | 0.001 | 0.005 |
| 硫酸鹽和亞硫酸鹽 (以SO4計) | 0.001 | 0.002 | 0.005 |
| 磷酸鹽 (PO4) | 0.0001 | 0.0002 | 0.0005 |
| 氟硅酸鹽 (SiF6) | 0.02 | 0.04 | 0.06 |
| 鐵 (Fe) | 0.00005 | 0.0001 | 0.0005 |
| 重金屬 (以Pb計) | 0.0001 | 0.0005 | 0.001 |
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