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技術參數：
爐體內腔尺寸：φ800mm×1000mm
外形尺寸：1000mm×1000mm×2500mm
**長晶尺寸：6英寸
籽晶軸提拉行程：450mm
提拉運動*小線速度：0.01mm/hr
快速提拉速度：200mm/min
籽晶軸轉動速度：0.1～100r/min
稱重系統：稱重傳感器量程20kg；信號放大器顯示精度0.01g
控制軟件：提拉法等徑控制軟件，采用上稱重方法來控制晶體直徑，晶體形狀可隨意設計，PID及運動參數可隨晶體形狀過渡變化，屏幕上數據交叉顯示提供生長過程中數據綜合分析工具。
加熱電源：中頻感應加熱
加熱**輸出功率：30KW
真空系統：機械泵抽真空
水冷系統：爐腔、加熱線圈流量控制循環冷卻。
壓電晶體生長爐
產品簡介： 本設備是公司新研發的用于鉭酸鋰（LT）和鈮酸鋰（LN）等材料的壓電晶體生長的設備。主要用于CZ法單晶的生產，全自動控制系統可提高晶體品質和一致性，過程可控穩定性高，減少人工干預、工作強度和成本。 |
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