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壓電晶體生長爐
壓電晶體生長爐

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壓電晶體生長爐

 

技術參數:

爐體內腔尺寸:φ800mm×1000mm

外形尺寸:1000mm×1000mm×2500mm

**長晶尺寸:6英寸

籽晶軸提拉行程:450mm

提拉運動*小線速度:0.01mm/hr

快速提拉速度:200mm/min

籽晶軸轉動速度:0.1~100r/min

稱重系統:稱重傳感器量程20kg;信號放大器顯示精度0.01g

控制軟件:提拉法等徑控制軟件,采用上稱重方法來控制晶體直徑,晶體形狀可隨意設計,PID及運動參數可隨晶體形狀過渡變化,屏幕上數據交叉顯示提供生長過程中數據綜合分析工具。

加熱電源:中頻感應加熱

加熱**輸出功率:30KW

真空系統:機械泵抽真空

水冷系統:爐腔、加熱線圈流量控制循環冷卻。

壓電晶體生長爐


 

產品簡介:

本設備是公司新研發的用于鉭酸鋰(LT)和鈮酸鋰(LN)等材料的壓電晶體生長的設備。主要用于CZ法單晶的生產,全自動控制系統可提高晶體品質和一致性,過程可控穩定性高,減少人工干預、工作強度和成本。


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10分

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