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真空腔體(箱體)

圓筒型真空箱體

矩形真空箱體

D型真空箱體

球型真空箱體

多邊形真空箱體

鐘罩型真空箱體

大型真空箱體

鋁合金真空箱體

真空模組與系統

真空腔體配件零組件

不論是真空鍍膜或是表面分析等作業都需要在真空腔體(箱體)內完成，真空腔體(箱體)的品質亦為真空設備性能好壞之關鍵因素之一。 Htc日揚真空具有制造各式客制化真空腔體(箱體)加工制造的經驗，可以根據客戶不同的需求來設計和制造，例如大學實驗室的表面分析用超高真空系統(UHV system)，真空度要求達到10^-10 torr，薄膜太陽能電池的特殊制程腔體，基板溫度須達到600℃，真空腔體(箱體)的冷卻設計就非常重要。

真空腔體(箱體)常用的材料有不銹鋼、鋁合金、碳鋼等，形狀有矩形、圓筒型和多邊形，表面處理有噴砂、拋光、電解拋光等，另外也可以依照客戶的需求進行熱處理應力消除或是振動應力消除，Htc日揚真空亦具有大型真空腔體(箱體)系統組裝能力，可以將真空腔體(箱體)設計制造加工的服務延伸至真空模組或真空系統整合或半導體產業、光電面板產業、太陽能產業所需真空制程設備，為客戶提供更完整的真空制程解決方案。

Htc日揚真空所制造真空腔體(箱體)有以下優勢：

1. 真空零件制造經驗豐富，各種規格真空零件庫存齊全可供真空腔體(箱體)制造時使用

2. 加工能力及場地完整，廠內即可完成板料切割、機械加工、焊接、清洗、組裝及測漏等工程

3. 使用先進3D設計軟體，方便與客戶溝通及現場加工

4. 公司有真空泵Pump維修團隊，可提供備份真空泵Pump得以迅速完成大型真空腔體箱體的抽氣及測漏作業

Htc日揚真空使用設計結構分析仿真圖來分析半導體使用的真空腔體、真空涂層設備、光學真空鍍膜以及真空系統設備內的金屬化建模。