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電弧石英坩堝
ARC Quartz Crucibles
用電弧法生產的乳白石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。它具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點。我公司還可以生產各種尺寸的透明和半透明材質的石英坩堝。這些產品可以根據應用范圍按標準規格生產，也可以按您要求定做非標準規格的坩堝。
Opaque quartz crucible of arc melting usedfor semiconductor industry is the essential basic material for pullingmonocrystalline silicon and developing L S I circuit. It has the advantages ofhigh purity, high temperature resistance with big size, good thermalinsulation, economization on energy, quality stability etc. We also can producevarious specifications of transparent and translucent crucibles. Cruciblescan be produced according to the standard or produced on customer’s required specification and shape.
化學成分分析
Chemical element composition
型號/Type | Al | Fe | Ca | Cu | K | Na | Li | B | OH |
EAST-A | 20 | 1 | 1.5 | 0.1 | 3 | 3 | 3 | 0.3 | 30 |
EAST-B | 15 | 0.3 | 0.6 | 0.05 | 0.7 | 1.0 | 0.7 | <0.1 | 30 |
坩堝規格尺寸
Crucible Dimensions
坩堝尺寸 Dimensions | 外徑 OD | 高度 Height | 厚度(WT) | R | r | ||
T1 | T2 | T3 | |||||
8" | 203±03 | 153±3 | 5.5±1.5 | 3 | 8.5 | 305 | 30 |
10" | 254±2 | 178±3 | 6.0±1.5 | 3.5 | 9 | 305 | 70 |
12" | 305±2 | 228±3 | 6.5±1.5 | 4 | 9.5 | 305 | 80 |
14" | 355±2 | 254±3 | 7.5±1.5 | 5 | 10.5 | 400 | 90 |
16" | 404±2 | 305±3 | 8.5±1.5 | 6 | 11.5 | 400 | 90 |
18" | 457±2 | 355±3 | 8.5±1.5 | 6 | 11.5 | 500 | 120 |
20" | 508±4 | 381±3 | 10±3 | 6 | 11.0 | 500 | 120 |
22" | 558±4.5 | 381±3 | 10±3 | 7 | 11.0 | 558 | 89 |
24" | 610±4.5 | 381±3 | 12±3 | 12±3 | 12±3 | 610 | 130 |
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