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Kashiyama SDE系列真空泵
Kashiyama SDE系列真空泵

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型號

Kashiyama SDE系列真空泵

品牌

Kashiyama

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
浚和(上海)儀器科技有限公司

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Kashiyama真空泵SDE系列


1.可達到200kL/min.


2.*適合大尺寸晶圓和FPD使用。


3.經(jīng)得起各種工藝的考驗。


KASHIYAMA真空泵SDE系列規(guī)格


規(guī)格書 /產(chǎn)品介紹

SDE1220

SDE20M20

SDE30M20

SDE4060

SDE4030M20

SDE8060

SDE804060

**抽速[L/min]

20,000

30,000

50,000

60,000

80,000

120,000

190,000

極限壓力[Pa]

0.5

0.8

0.5

0.8

0.5

電源電壓(50/60Hz)

3 Phase AC200~220V,380~480V

尺寸[mm] 寬W*高H*長L

W:400 

H: 780 

L:930

W:450 

H: 950  

L:1000

W:450

H: 950 

 L:1000

W:750

H: 1200

L: 1600

W:800 

H:  1580 

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H: 1220

 L: 1600

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10分

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