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小型氧化亞硅氣相沉積真空爐品牌
美格產地
廣東樣本
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1．產品名稱：小型氧化亞硅氣象沉積真空爐
2．應用領域：動力電池負極材料（氧化亞硅等可氣相沉積材料）
3.工藝描述：三溫區設計，合金內膽，溫差控制精度3℃，高溫高真空，具備脫水，混煉反應，提純等工藝，反應充分，成品率高（約70%-80%）
型號 | 裝料尺寸 | 裝載量 | 工作溫度 | 極限溫度 | 真空度 | 總功率 | 氣氛類別 | 工序時長 |
MGB15-85HH | Φ150 * 850 | 0.12M3 | 1350°C | 1600℃ | 0.1* 0.5pa | 35KW | Ar/N2 | 16H/爐 |
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