出口直徑（mm）：
-進口直徑（mm）：
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中央真空系統按用泵類型分為“油泵系統”，“干泵系統”。
按用泵數量分為“單級型”，“雙級型”。
中央真空系統一般由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統，實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。
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