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MAXIM 二次離子濺射中性粒子質譜儀可分析二次陰、陽離子動態和中性粒子，所具備的的30°接受角可形成樣品粒子平面，應用于SIMS和SNMS的光學采樣。
·光柵控制，增強深度分析能力·所有能量范圍內，離子行程的*小擾動，及恒定離子傳輸·靈敏度高 / 穩定的脈沖離子計數檢測器
·質量數范圍： 300amu，500amu，1000amu
·檢測器：離子計數探測器、正負離子探測器、107 cps
·質量過濾器： 3F四級桿
·桿直徑： 9mm
·**加熱： 250℃
·離子源：電子轟擊，可用于SNMS和RGA的單根燈絲
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