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■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-200W高功率機型，發生器自動匹配，無需調節反射波，進一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備數字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 高硼硅玻璃腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的精元、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。
■ 安全性·保護
● 裝載有溫度、壓力、等離子發生器異常等三層報警燈，可實時監測和了解機器的運轉狀態。
● 裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。
■ 產品優勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗過程中無廢液產生，安全環保。
●幾乎所有的材質樣品都可以進行等離子清洗。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，保證等離子體能夠均勻產生。
規格：
型號 | PR200 | PR301 | |||
方式 | DP模式、圓柱形腔體 | ||||
性能 | 發生器功率： | 0-200W | 0-300W | ||
發生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | ||||
發生器匹配方式： | 自動匹配（Auto matching) | 手動匹配（manul） | |||
構成 | 腔體材質： | 高硼硅玻璃 | |||
腔體內尺寸： | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |||
反應氣體： | 一路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。 | ||||
控制方式： | 半自動控制 | ||||
真空度顯示： | 數字式皮拉尼傳感器，實時顯示腔體內真空度。 | 模擬式壓力表 | |||
配管材質： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | ||||
門： | 鉸鏈門 | ||||
外形尺寸： | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |||
真空泵抽速： | 4m3/hour | ||||
電源規格： | AC220V 10A | ||||
重量： | 約25kg | 約34kg | |||
附屬品 | 真空管件一套、真空轉接接頭一套、試料托盤一枚。 | ||||
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