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低溫等離子·經(jīng)典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
內(nèi)槽
硅晶圓灰化狀態(tài)
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能
及觸摸屏操作（PR510），提高了操作性及安全性，是一款
小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)
用途
● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計
規(guī)格：
型號 | PR500 | PR510 |
等離子模式 | DP模式，桶形 | |
高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | |
同調(diào)方式 | 自動協(xié)調(diào) | |
反應(yīng)腔 | 石英Φ215×305mm | |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（O2／CF4） | |
控制 | 手動 | 觸模屏自動控制 |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | |
外形尺寸 | W438 x D520 x H760mm | 參照規(guī)格書 |
重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |
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