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低溫等離子·經典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
內槽
硅晶圓灰化狀態
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能
及觸摸屏操作（PR510），提高了操作性及安全性，是一款
小型緊湊型的等離子處理設備。
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應
用途
● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計
規格：
型號 | PR500 | PR510 |
等離子模式 | DP模式，桶形 | |
高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | |
同調方式 | 自動協調 | |
反應腔 | 石英Φ215×305mm | |
反應氣體 | 2系統（O2／CF4） | |
控制 | 手動 | 觸模屏自動控制 |
配管材質 | 不銹鋼、特氟龍 | |
外形尺寸 | W438 x D520 x H760mm | 參照規格書 |
重量 | 約60kg | 參照規格書 |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |
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