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Ellutia高純氣/特氣分析儀可提供一整套氣體混合物的分析方法，檢測限可達ppb級（<50ppb），既可用于檢測常見的He、H2，Ar，N2，CO2中的微量雜質，還可分析特種氣體如HCL，SiH4，BCL3，N2O，CF4等。根據不同應用要求，實現客戶化定制。
產品特點
實現多種氣體高靈敏度檢測
氦氣吹掃，避免與空氣接觸所引起的外界污染
精密防泄露裝置，避免潛在污染
配備高純氣吸氣劑，去除微量雜質
尺寸規格小，不占據實驗室空間
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