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硅片厚度測量儀SIT-200
硅片厚度測量儀SIT-200

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上海

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上海屹持光電技術有限公司

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硅片厚度測量儀SIT-200

硅片厚度測量儀(SIT-200)由精確可調激光光源,聚焦傳感器,光學接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標上,由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案,經過聚焦傳感器后由光學探測器進行檢測。

產品特點:

l 全光學,非接觸硅片厚度測試

l 高動態范圍測量粗糙表面

l 濕法刻蝕過程中實時測量

高靈敏度高精度快速測量遠程控制

結構示意圖

SIT-200

產品參數:

測量目標

硅片

測量厚度

10-500μm

光源

1515-1585nm掃描

功率

0.6mwClass1

指示光源

紅光,Class1M

測量時間

20ms

重復性

0.1μm

輸出監控

干擾信號(電學)

PC接口

網口

供電

100-240V50/60Hz

尺寸

364 x 147 x 391mm

重量

9kg

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10分

售后服務

10分

易用性

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