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薄膜材料無損檢測光功率熱分析儀（OPA ）
本儀器為無損檢測，并可同時檢測材料的相變溫度和熱膨脹系數。OPA 的研發成功，一舉填補了無損檢測納米級薄膜材料相變溫度和熱膨脹系數的國際性技術空白， 能測量低至5nm的薄膜材料。本儀器擁有多項***，具有獨立知識產權。
創新設計
利用光干涉原理對透光材料及其配套薄膜熱膨脹系數的檢測。
根據薄膜材料在相變前后光學性質（反射光功率）有較大差異的特性，在程序控制溫度下，采用一束恒定光功率的激光照射樣品表面，
并對其反射回的光功率進行檢測，確定樣品在對應溫度點下的反射光功率，通過分析形成反射光功率與溫度的變化曲線，確認樣品的包括晶化溫度、熔化溫度等不同結構相之間轉變的一級相變，及其他部分二級相變在內的所有相變溫度。
可以同時測量薄膜相變溫度和熱膨脹系數
基于三維調整的光隔離器能有效保護激光器以及調整激光通路
搭載聚焦及濾波的傳感模塊能有效提高信號的檢出率
采用高性能長壽命紅外加熱管進行加熱，核心加熱區采用拋物反射面設計，確保對樣品進行有
效全方位的加熱
采用 PID 調節與模糊控制相結合的溫控系統可實現系統的高速跟隨控制
可配置 3 種不同加熱爐，覆蓋溫度范圍 RT~1800℃
直線滾珠軸承作為組件支撐及運動導向關聯件，確保送樣的平穩可靠，行程限墊可有效確保導
軌的行程范圍
壓迫式彈針接觸端子確保溫度傳感器的有效接通，同時其彈力可確保設備處于鎖緊狀態時才可
進行加熱操作等事宜，避免誤操作。
技術參數
型號 | OPA-300 | OPA-1200 | OPA-1800 |
溫度范圍 | RT~300 ℃ | RT~1200 ℃ | RT~1800 ℃ |
程序升溫重復性偏差： | ＜1.0% | ||
程序升溫速率偏差： | ＜10.0% | ||
相變溫度測量精密度偏差： | ＜0.5% | ||
相變溫度測量正確度偏差 | ＜0.5% | ||
熱膨脹系數測量精密度偏差 | ＜4.5% | ||
熱膨脹系數測量正確度偏差 | ＜±15% | ||
**工作功率 | 4.0KW | ||
**升溫速度 | 3000 ℃/min (50℃~1800℃，真空氛圍) | ||
2700 ℃/min (50℃~1800℃，N 2 氛圍) | |||
溫場一致性 | ± 2.0 ℃（1800℃，真空） | ||
± 4.5 ℃（1800℃，N 2 ） | |||
制冷要求 | 水冷 | ||
極限真空 | 50Pa | 10Pa | 1Pa |
相變薄膜材料檢測厚度下限 | 5.0×10 -9 m | ||
熱膨脹分析**量值 | 5.0×10 -10m | ||
主機凈重 | 52Kg | ||
主機尺寸（W×H×D ） | 510mm×404mm×470mm | ||
樣品要求：
尺寸：長×寬 5 x 5~20 x20 mm2，厚度 2.0mm（含基底）以下為宜
相變溫度測試樣品：尺寸滿足上述要求，具備光學反射平面；
熱膨脹系數測試樣品：適用于透光材料的熱膨脹系數檢測。具備光學反射雙平面，不具備此形
態的樣品需涂鍍處理，待測薄膜樣品厚度≧266nm。
應用材料
形變記憶合金材料 鐵電、壓電薄膜材料
相變存儲材料——硫系相變化合物：Ge 2 Sb 2 Te 5 高溫陶瓷薄膜
金屬薄膜材料（研究馬氏體、奧氏體、貝氏體等） 硬質合金薄膜材料
高溫涂層薄膜 復合薄膜材料
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應用實例
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