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表面清潔度分析儀器是一種借用特定測試技術來分析物體表面的清潔程度的儀器。通常測試設備分為接觸式和非接觸式。非接觸式測量振動的方法（開爾文探針）的測試表面電勢的變化. 由于在固體表面上的電暈放電下的充電，然后定量評價，例如可以判定金屬基體材料的表面上的污染程度。
其他應用還有：
五金塑膠、橡膠、污垢管理；
鍍鉻鈍化膜的管理；
DLC薄膜的質量管理；
各種材料帶電性能的評價。
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