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SionTM射頻放弧探測器
SionTM射頻放弧探測器

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美國

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英福康（廣州）真空儀器有限公司

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特征概覽:

  • 非接觸式超小設計，監(jiān)測高功率射頻電源的電流及電壓傳輸
  • 方便替換傳統(tǒng)的光譜儀，準確探測刻蝕工藝的終點
  • 監(jiān)測腔體是否刻蝕干凈及過度刻蝕，縮短刻蝕時間和降低氣體成本，提高生產(chǎn)機臺使用率
  • 高速采樣頻率，可達2萬赫茲

應用：

  • 用于半導體，平板顯示器及太陽能等行業(yè)PVD，CVD及刻蝕腔體工藝等離子體放弧探測及刻蝕終點探測（Endpoint）。
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