非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
其他溫控精度：
-最高溫度：
-額定溫度：
-看了擴散氧化爐（生產型）的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
設備特點
●可滿足閉管干氧氧化、濕氧氧化、氫氧合成氧化、擴散、退火常壓、退火/推進、合金等工藝
●采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化；
●具有友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態；
●具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
●具有強大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間；
●恒溫區自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
●具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能；
●可根據用戶要求定制產品。
技術指標
●適用晶片尺寸 ： 2~8英寸圓片
●工作溫度： 600℃～1300℃；
●可配工藝管數量：1~4管/臺
●恒溫區長度及精度：≤±0.5℃/600~800mm （800℃～1300℃），
● 單點溫度穩定性：≤±0.5℃℃ /24h （1100℃）；
●溫度斜變能力：**升溫速率20℃/min，**降溫速率5℃/min；
應用范圍
半導體集成電路、先進封裝、電力電子（IGBT）、微機械（MEMS）、光伏電池（Photovoltaic）制造等領域，適用2~8英寸工藝尺寸擴散、氧化、退火及合金工藝
暫無數據！
擴散氧化爐（生產型）的工作原理介紹？擴散氧化爐（生產型）的使用方法？擴散氧化爐（生產型）多少錢一臺？擴散氧化爐（生產型）使用的注意事項擴散氧化爐（生產型）的說明書有嗎？擴散氧化爐（生產型）的操作規程有嗎？擴散氧化爐（生產型）的報價含票含運費嗎？擴散氧化爐（生產型）有現貨嗎？擴散氧化爐（生產型）包安裝嗎？
手機版：
工商已核實
