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項 目 | 高溫退火激活爐 |
功 能 | ? 用于SiC、GaN等高溫退火活化工藝 ? 滿足各種真空、氣氛高溫退火的激活工藝 |
重要參數 | ? **晶圓尺寸：滿足6寸以下晶圓工藝要求 ? **載片量：50片/批 ? **加熱溫度：2000℃ |
裝卸片方式 | ? 立式垂直升降 ? 立式真空密封系統 |
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