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分辨率

8.0nm@30kV SE

放大范圍

x 20 - x 100,000

加速電壓

1kV  30kV (1/3/5/10./15/20. /30.kV)

電子槍

發叉式鎢絲陰極

探測器

探測器 SE ， BSE/EDS可選

樣品臺

X: 35mm (馬達驅動)， Y: 35mm (馬達驅動)，

T: 0- 45°(馬達驅動)， R: 360°，Z: 0-50.mm

樣品尺寸

45mm（高），60mm（直徑）

圖像模式

(像素)

RED選區（320x240），TV（640x480），Slow（800x600）

Photo(1280x960，2560x1920，5120.x3840）

幀頻

RED (Max.  3D frames/sec). 1v(Max. 10 frames/sec) ，

Slow(Max. 2  frames/sec)

真空系統

渦輪分子泵真空系統

自動功能

啟動，聚焦，燈絲，亮度/對比度

操作系統

Windows 7

操作方式

鍵盤/鼠標