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產品特點
涂層厚度均勻，極差<10um
金屬雜質含量<2ppm
涂層致密，無針孔，耐刻蝕，壽命長
>行星盤一致性好，均溫性好，盤間溫差<2C
應用領域
>GaN功率器件
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