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BP系列雙極濺射電源
BP系列雙極濺射電源

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型號

BP系列雙極濺射電源

品牌

東方四通

產地

江蘇

樣本

暫無
江蘇東方四通科技股份有限公司

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BP系列雙極濺射電源主要應用于等離子輔助薄膜沉積 PECVD 和雙陰極濺射鍍膜領域。以其優良的控制算法,能夠提供穩定可靠的雙極性輸出,并對功率、電壓、電流、頻率和脈沖時間等提供精確的輸出控制。


    • 采用模塊化設計,按照行業標準設計。

    • 波形和頻率靈活可調。

    • 雙極性、單極性、直流、脈沖多種模式合一。

    • 高穩態功率輸出。輸出穩定性 0.2%。

    • 電弧主動抑制技術。

    • 極快的電弧響應。

    • 極低的電弧攜帶能量。小于 0.3mJ/kw 的能量攜帶。

    • 豐富的通訊接口。

    • 控制指令的快速響應。


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10分

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