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面議型號
管式快速退火爐系統 LFT1200C 900D150IIIHSF-3ZLV品牌
康帕因產地
安徽樣本
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該設備為RTP快速升溫爐,加熱元件為紅外燈管,可快速升降溫。內置移動導軌,并有電極帶動再導軌上滑動,三溫區結構設計,配合自動化程序控制,可實現樣品在不動條件下的自動化移動和蒸鍍處理。
技術參數
加熱部分:
爐膛模式:前后移動開啟式爐膛(三個工藝爐膛)
顯示模式:10 英寸觸摸屏
加熱元件:短紅外波燈管,上下水平面獨立加熱
工作溫度:≤750℃
升溫速率:≥15℃/s(空爐)
樣品移動:電機驅動,速度可調
溫區長度:200mm(恒溫區 100*100mm)
溫度均勻性:≤±2℃
工藝位溫降;≤30℃
快速降溫;≥3℃/S(空爐)
爐管規格 :Φ150*1200 mm
控溫精度:±1℃
密封方式:快速法蘭密封
儀表補償:室溫自動補償
溫度曲線:30 段"時間—溫度曲線"任意可設
測溫元件:K 型鎧裝熱電偶(Omega)
爐膛材料:氧化鋁纖維
外形尺寸 :1450*700*1000MM長*寬*高
整機功率:單個溫區 12kw,共計 36KW
電源參數:380V 50Hz
樣品移動:伺服電機驅動剛玉推桿帶動基板移動
運行軌道:鉬軌道
推桿速度:可調
導軌水平度:≤1mm/m
推桿定位誤差:≤1mm
防撞措施 :超力矩推不動,急停按鈕
蒸發距離:樣品下平面和坩堝上平面間距≦2mm,可根據需要調節
速度誤差 :≤1%
抽真空能力:大氣到≤5Pa 小于 15min(空爐)
氣壓范圍:10 -3Pa~10 5Pa,機械泵極限≤5Pa
泄漏率:≤5 -4(Pa*m 3/s)
真空計范圍:大氣到 10 -5Pa,**分辨率 0.01Pa
氣路系統:按照工藝要求定制
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