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大口徑高溫高壓芯片退火管式爐LFT1200C 450D254品牌
康帕因產地
安徽樣本
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大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設備用于較大尺寸（**尺寸為8英寸）襯底退火處理，設備采用電阻絲為加熱元件，保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型，保溫性能好，電阻絲為內嵌式一體成型，美觀、節能；該設備還集成了真空以及供氣系統，滿足更多工藝條件要求。采用耐高溫金屬管為高溫爐管，滿足高溫工作條件，也能滿足真空或者一定的正壓條件實驗要求，是一款潔凈的大尺寸樣品熱處理設備。
技術參數：
型號 | LFT1200C 450D254 |
額定功率 | 13KW |
額定電壓 | 380V |
**溫度 | 1000℃ |
額定溫度 | 900℃ |
推薦升溫速率 | 10℃/min |
爐管尺寸 （可根據客戶要求訂制） | 內徑245*600mm（含管堵） |
外型尺寸（長×深×高） | 1900*700*2100mm |
控溫精度 | ±1℃ |
極限真空度（選件） | 1.0×10-3Pa（機械泵+分子泵） |
加熱元件 | OCr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金） |
重量 | 490公斤 |
客戶自配裝空氣開關 | 40A |
流量控制器技術參數：
連接頭類型：Φ6雙卡套接頭
流量規格： （1000,1000，1000,1000，）sccm ，具體氣體量程 可根據工藝要求配置
準確度：±1.5%
線性：±0.5～1.5%
重復精度：±0.2%
響應時間：氣特性：1～4 Sec 電特性：10 Sec
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
耐壓：3MPa
輸入輸出信號：0 V ~ +5.00 V（輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA）
電源：+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作環境溫度:5 ℃ ~ 45 ℃
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