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HMPS-2120S微波等離子體CVD設備
HMPS-2120S微波等離子體CVD設備

參考價格

面議

型號

HMPS-2120S微波等離子體CVD設備

品牌

和瑞微波

產地

四川

樣本

暫無
成都紐曼和瑞微波技術有限公司

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微波功率容量大、功率密度高;

沉積面積大、速率快、質量高;

安全可靠,滿足單晶、多晶金剛石產業化生產運行;

第三代高穩定固態功率源,新型下饋式大容積碟形放電工作腔;

微波功率0.5~12kW連續可調,穩定度1%;

放電區Φ≥100mm;均勻沉積區Φ≥75mm;

工作氣體:H2/CH4/N2/CO2O2Ar;

極限真空度:6×10-4Pa;真空漏率:10-9Pa·m3/s;

工作壓力:0.1~30kPa;自動控制;

紅外測溫:600~1800℃(雙色);

PLC和15寸觸摸屏多參數自動控制。


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