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超高真空管道傳輸設備
超高真空管道傳輸設備

參考價格

面議

型號

超高真空管道傳輸設備

品牌

致真精密

產地

安徽

樣本

暫無
合肥致真精密設備有限公司

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生產商

工商已核實

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生產型磁控濺射設備是針對生產企業實驗室和產線研發的一系列高性能、高效率的磁控濺射裝備。MSI-200型磁控濺射設備采用多個真空腔室互聯的設計,通過Cluster內置的三維機械手實現晶圓的傳輸,可搭配多個濺射室或處理腔室,適用于生產產線或實驗線。

性能參數

晶圓尺寸

8吋向下兼容
極限真空優于5×10-10mbar
對接口每節管道可連接一套系統,對接口CF250及以下。
傳輸裝置磁力傳輸,可同時傳輸多片
進樣室可選配獨立進樣室
校準裝置光電傳感器
真空系統機械泵+分子泵,可選離子泵等

控制系統                    

PC+PLC
安全互鎖,碰撞保護,真空互鎖等


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產品質量

10分

售后服務

10分

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