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純化系統采用化學反應與物理吸附相結合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20,02,CO,CO2,NMHCH2等雜質去除到1ppb以下，可配置過濾精度為0.003微米的顆粒過濾器。電控部分主要由PLC、溫度控制器和觸摸屏等所組成負責控制系統的純化、再生和安全報警等過程，確保純化系統能夠持續安全穩定地運行。
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