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其他輸送物料：
-連接方式：
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其他連接通道：
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優勢
? 控制精度高，精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
? 響應速度快，響應時間≤ 0.5sec。
? 采用基于壓力原理的流量傳感器技術，使產品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動。
? DS300采用有效的機械加工技術與表面處理技術解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實現孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學拋光處理，完全符合SEMI標準要求。
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