誤差率：
-分辨率：
0.16nm@167nm重現性：
-儀器原理：
其他分散方式：
-測量時間：
-測量范圍：
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NIM型真空紫外光譜儀，采用Seya- Namioka光路結構，入射狹縫和CCD探測器位于羅蘭圓上，可以單色模式和光譜模式切用 。
● 波?范圍較寬
● 在線精密可調狹縫
● 可擴展空間維聚焦
● 可進?系統集成服務
● 結構緊湊集成度?
● ?真空兼容性
●光柵類型： 球?光柵
● 波?范圍： 80nm~200nm
● 光譜分辨率： 0.16nm@167nm
● 波?精度： 根據需求設計
● 探測器類型： 科研級相機
● 狹縫寬度： 0.01~3mm在線連續可調
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