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BST-1200C-CVD品牌
貝意克產地
安徽合肥樣本
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一、產品特色
1、氣體先經過氣體預熱爐預熱后進入流化床反應腔體，可以降低大量冷氣流進入腔體對工藝的影響。
2、反應器出口配有攪動裝置， 防止碳管在反應器出口堵塞。
3、進液口附近配有測溫熱電偶， 可以控制進液口的溫度。
4、進液口活動式， 可以根據工藝需要的溫度調整上下位置。
5、收集器排氣口安裝可轉動式濾網，方式濾網堵塞。
二、基本參數
爐管材質 | 石英管 |
爐管尺寸 | Φ300mm（外徑） |
加熱元件 | 電阻絲 |
工作溫度 | ≤1100℃ |
溫控系統 | 30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為液晶觸摸屏控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱區長度 | 300+300+300+300+300mm（5溫區） |
| 氣路系統 | 內部裝有5路高精度質量流量計可準確的控制氣體流量，按要求配比 |
準確度 | ±1.5% |
線性 | ±0.5～1.5% |
重復精度 | ±0.2% |
響應時間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
預抽真空泵抽速 | 60m3/H |
氣體預熱爐加熱區長度 | 300+300+300mm |
預熱爐加熱元件 | 電阻絲 |
預熱爐盤管材質 | 310S |
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