功率（kw）：
-重量（kg）：
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技術指標 | 數據 |
有效行程 | X軸:300mm Y軸:300mm |
**速度 | X軸:1000mm/s Y軸:1000mm/s |
**加速度 | X軸:0.6G Y軸:0.6G |
重復定位精度 | X軸:±0.5μm Y軸:±1μm θ軸：±2arcsec |
直線度 | X軸:±4μm Y軸:±4μm |
行走平面度 | X軸:±5μm Y軸:±4μm |
XY正交度 | ±5μm |
**負載 | 10kg |
光柵尺分辨率 | 0.1μm |
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