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面議型號
BTF-1400C-OP-4ZL-CVD品牌
貝意克產地
安徽合肥樣本
暫無非金屬電熱元件：
碳化硅金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
1400℃額定溫度：
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一、產品特色
這是一款定制可開啟式CVD設備。該設備主要開啟式加熱爐、氣路系統、反應管、智能控制系統。
1、開啟式加熱爐：
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配S型熱電偶，單點控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應管
2、氣路系統可精確控制3路氣體按不同流量進行混合配比，另外單獨1路可通強腐蝕氣體，配備吹掃氣路。
氣路管路及閥門，精工件都采用316L材質。
3、反應管組件
反應管組件使用耐高溫剛玉管，內加剛玉管堵，兩端密封法蘭帶水冷卻系統，反應管尾部帶反應物收集冷卻裝置。實驗眾產生的尾氣經過冷卻收集后再通過球閥排出。
4、氣體報警系統
配備有氫氣報警器，氯氣報警器、甲烷報警器。分別設置1個檢測點，報警后自動切斷氫氣、氯氣和甲烷的供應，并發出警報。
5、 智能控制系統
采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。
二、技術參數
**溫度 | 1400℃ |
持續工作溫度 | ≤1300℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 硅碳棒 |
熱電偶 | S型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。 |
加熱總功率 | ≤9KW |
加熱區尺寸 | 300*130*160mm |
真空度 | ≤5pa |
設備尺寸 | 2100*600*1350mm |
設備重量 | 約350KG |
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