參考價(jià)格
面議型號(hào)
BTF-1200C-III-3ZL-CVD品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽合肥樣本
暫無(wú)額定溫度：
≤1100℃非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
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一、設(shè)備組成
這是一款組合管式CVD設(shè)備。該設(shè)備主要由多路供氣系統(tǒng)、三溫區(qū)加熱爐、低真空系統(tǒng)、以及智能控壓組件組成。
1、開(kāi)啟式加熱爐：
三溫區(qū)加熱爐使用輕質(zhì)氧化鋁纖維材質(zhì)，K型熱電偶測(cè)溫搭配優(yōu)質(zhì)電阻絲為加熱原件，內(nèi)部溫場(chǎng)均勻。
2、多路供氣系統(tǒng)
質(zhì)量流量計(jì)可按照程序設(shè)定，對(duì)多路氣體進(jìn)行單獨(dú)或者混合。操作方便，控制精確。
3、智能控壓組件
通過(guò)真空計(jì)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)管內(nèi)壓力，PLC根據(jù)設(shè)定壓力大小調(diào)節(jié)閥開(kāi)啟大小，以控制管內(nèi)壓力穩(wěn)定。
4、低真空系統(tǒng)
配備進(jìn)口機(jī)械泵，進(jìn)口真空計(jì)，質(zhì)量可靠。
二、技術(shù)參數(shù)
**溫度 | 1200℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 |
加熱總功率 | ≤8KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300+300+300mm |
設(shè)備主體尺寸（長(zhǎng)*寬*高） | 2000*700*1300mm |
設(shè)備重量 | 約150KG |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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