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CFD系列精細流量調節的化學液補充系統
CFD系列精細流量調節的化學液補充系統

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型號

CFD系列精細流量調節的化學液補充系統

品牌

易威奇

產地

廣東

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暫無
易威奇有限公司

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高分辨率

*小流量達1mL/shot,為晶圓清洗過程中所需的化學凝結控制,提供更高的準確性。

CFD系列能提供準確流量,防止過量添加或液體浪費。此外,防虹吸設計防止意外吸入。

耐腐蝕過流端

氟材質口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導體加工所用的強酸、強堿和雙氧水。

針對化學腐蝕,PTFE / PFA / PP / PVC材質外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護。

寬廣的吐出率調節

打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調節沖程長度 (出廠默認設定是1.0ml/shot)。

配備泄漏傳感器

每臺泵都配有泄漏傳感器,可實時檢測任何泄漏情況。

**吐出量

1 mL/shot

**吐出壓力

0.05 MPa

**沖程率

30 spm

主要材質

PTFE, PFA, PCTFE

液體輸送溫度范圍

20 ~ 60 °C


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產品質量

10分

售后服務

10分

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