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感應氮化鋁
感應氮化鋁

參考價格

面議

型號

感應氮化鋁

品牌

中科漢達

產地

遼寧

樣本

暫無
沈陽中科漢達科技有限公司

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感應式PVT AlN生長設備是自主研發的感應式加熱爐,具有高穩定性、高真空度和精確控制系統的AlN晶體生長系統,適用于商業化批量生長大尺寸AlN晶體,可實現AlN晶體的同質和異質外延生長。

技術參數

生長工藝

PVT

產品類型

非標定制

加熱方式

感應加熱(中頻感應加熱)

**溫度

2400℃

系統停泵關機12小時后真空度

≤5Pa

控制方式

PLC集成控制

系統極限真空度

≤8×10-5 Pa (經烘烤除氣后)

系統真空檢漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷卻方式

循環水路系統

控壓范圍

20-80kpa


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