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面議型號
YHJ2M77120 高精度立式雙面磨床品牌
宇環數控產地
湖南樣本
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-工作原理：
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設備亮點
1、本下盤軸向采用靜壓轉臺軸承結構，具有高精度、高剛性特點，對于大壓力加載磨削加工，具有良好的精度保持性。
2、下盤內外齒圈采用伺服電機獨立驅動，工藝調節范圍廣，可根據不同材質產品靈活調整工藝參數。
3、上盤采用浮動油缸機構調節平衡，四組浮動油缸對稱均勻布置，在保持加工精度的前提上提升加工效率。
4、上、下盤均有獨立冷卻水道冷卻磨削盤，在上、下盤配置多點溫度傳感器(帶無線傳感)，通過溫度實時監測，控制調節制冷量，保證磨削盤溫度均勻且恒定。
5、配置在線檢測系統(選配)，實現同時加工及檢測，加工合格率高。
技術參數
項目 | 參數 |
單個晶圓襯底厚薄差TTV（μm） | ≤1.5 |
晶圓襯底與襯底之間厚薄差（μm） | ≤3 |
晶圓襯底*小厚度（μm） | 350 |
晶圓襯底平面度（μm） | ≤1.5 |
晶圓襯底化學拋光后粗糙度(納米） | ≤Ra8 |
上下盤平面度（mm） | ≤0.005 |
上盤**加載壓力（t） | 1.5 |
上盤**行程（mm） | 350 |
上拋光盤尺寸（mm） | Φ1120*Φ385*50 |
下盤跳動（mm） | ≤0.01 |
下拋光盤尺寸（mm） | Φ1120*Φ385*50 |
外齒圈抬升高度（mm） | 24~28 |
項目 | 參數 |
下盤靜**承**承載(t) | 7 |
上盤轉速（RPM） | 5~60 |
下盤轉速（RPM） | 5~60 |
上盤電機功率（KW） | 18.5 |
下盤電機功率（KW） | 18.5 |
太陽輪轉速（RPM） | 5~100 |
太陽輪電機功率（KW） | 4.4 |
外齒圈轉速（RPM） | 1~10 |
外齒圈電機功率（KW） | 4.4 |
游星輪數量（個） | 5 |
晶圓加工規格(英寸) | ≤8”（打樣用）6”（常用） |
設備重量（t） | 9 |
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