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低溫真空泵概述：
所謂低溫真空泵是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的集聚式真空泵，是無油高真空環境獲得設備。
產品特點：
無油無污染，極純凈真空環境。
高極限真空，可達10-7Pa以上真空。
不需液氮，運行成本低。
操作簡單，可任意方向安裝。
安全方便，使用壽命長。
①啟動粗抽泵。
②打開粗抽閥。
③當泵內壓力到達40Pa時，關閉粗抽閥，做保壓測試。
④泵內壓力從40Pa上升至45Pa的時間若少于5分鐘，則重復步驟2、3。
⑤在滿足步驟4的情況下,再一次將泵粗抽至40Pa以下,關閉粗抽閥。
⑥啟動壓縮機，低溫真空泵開始運轉。
①關閉主閥，并停止低溫真空泵。
②啟動再生用加熱帶,開啟氮氣導入閥,導入氮氣。
③當一級、二級溫度達到300K時,停止氮氣導入,升溫完成。
④進行泵內粗抽,并保壓測試。若保壓不合格則重復步驟2、3,直到合格為止。
⑤斷開加熱帶，并按照規定流程啟動低溫真空泵。
⑥二級溫度降至20K時，降溫完成，再生結束。
應用領域：
| 蒸發鍍膜設備 | 半導體制造設備 | 空間模擬設備 |
| 濺射鍍膜設備 | 分子束外延設備 | 表面分析設備 |
| 離子注入設備 | 加速器束流管 | 高能物理研究裝置 |
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