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設備簡介
此設備主要應用激光在晶圓表面打標作業
設備特點
1.高精密直線電機，高速度X-Y運動平臺，移動精度≤1um；
2.可實現8~12 inch 的晶圓打標；
3.雙提籃設計, 實現換料無等待；
4.紫外納秒激光器，掃描速度max 12000mm/s；
5.WPH:120。
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