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ARKled光源芯片周邊曝光用品牌
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適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。不僅可以安裝在新裝置上,而且從當前使用的UV燈光源更換也很方便。通過搭載UV-LED,可降低耗電量、降低環(huán)境負荷、延長發(fā)光源壽命,并且不需要機械相關的消耗部件,從而大大降低客戶的運行成本。
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