氣體種類:
氧氣、氮氣、氬氣、氨氣等氣壓:
50Pa射頻源:
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等離子清洗機VP-R5采用低溫真空石英腔體等離子清洗裝置:CN201821507327.8,真空腔體石英玻璃材質,腔體容積5升,射頻頻率13.56MHz,功率160W,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運行30分鐘,腔體溫度不高于32℃,不損傷樣品,適用于導電碳布、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA等離子體去膠處理。
等離子清洗機VP-R5提供兩路工作氣路,真空度數字顯示,實時觀察腔體真空狀態,操作簡易,采用觸摸屏智能化控制系統,搭載了真空等離子處理儀控制軟件(2021SR1026389),觸摸屏上一鍵自動啟動等離子體,觸摸屏上控制真空泵的啟動或關閉,觸摸屏上自動識別腔門開或關,等離子體處理結束,自動泄壓,性能可靠,真空等離子行業主動承諾質保2年。
廣州善準科技有限公司專注于真空等離子清洗機VP-R系列(腔體低溫)、全自動真空等離子處理儀VP-A系列(配置MFC)、旋轉型真空等離子處理儀VP-T系列(粉末處理專用)和手套箱專用真空等離子清洗機VP-G系列(腔體放置手套箱內)的研究、開發和制造。善準科技已成功注冊了“SUNJUNE"、“SUNJUNE PLASMA"兩個商標,擁有10項技術與軟件著作,使用善準真空等離子處理儀參與做實驗的多篇高質量論文發表在《Nature》、《Energy & Environmental Science》和《Advanced Functional Materials》等期刊;善準科技產品在芯片制造、柔性顯示材料、智能穿戴設備、微流控芯片、醫療器械、二維材料、固態電解質等領域獲得廣泛應用,深度參與中國智造和中國科研,為善準用戶的發展壯大貢獻自己的綿薄之力。
善準科技等離子清洗機VP-R5滿功率運行30分鐘,腔體溫度不高于32℃,不損傷樣品,適用于導電碳布、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA等離子體去膠處理。