工作原理：
其他磨拋盤直徑：
6英寸主軸轉速：
-單位能耗：
-裝機功率（kw）：
-成品細度：
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加工精度高，TTV≤2 um，RA：≤0.1 nm
適用6寸以下及各類異形晶圓加工
具備盤型藍牙監控并自動修復功能
夾具壓力精度達到2g/cm2，可訂制加壓模塊
效率高，支持*多四工位同時加工
可編輯可存儲至少100條工藝程序
具備盤溫監控、自動冷卻等溫度控制功能
研磨拋光一體機，操作便捷，兼容性強大
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