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AltraPure? mini & mini XL在線式氣體過濾器品牌
敖純過濾產地
上海樣本
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AltraPure? mini & mini XL在線式氣體過濾器,專為超高純度氣體過濾應用而設計。過濾器采用2層PTFE濾膜,對干燥氣體的過濾精度達到0.003μm。獨特的結構設計,即使在高流量情況下,仍能保持較低的壓力損失。
該過濾器具有優秀的化學兼容性,適用于所有種類的半導體制程氣體,如:大宗氣體輸送、沉積、光刻、刻蝕、氧化、擴散、離子注入等干法或濕法制程中工藝反應氣體、吹掃氣體、保護氣體等的過濾。
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