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TaC涂層專用特種石墨基材品牌
華錦新材產地
山東樣本
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概況
華錦新材公司生產的TaC涂層專用特種石墨基材，能與TaC涂層的熱膨脹在不同溫度下（20-200℃：5.9*10-6/K；20-600℃：6.3*10-6/K；20-1600℃：7.1*10-6/K）高度匹配，**解決了多次升降溫引起的涂層開裂和剝落等問題，有效提高工件的服役時間。
產品優勢
相較SiC涂層石墨，新一代的TaC涂層石墨的高溫耐腐蝕性、服役時間以及抑制雜原子遷移能力明顯提升，使用溫度由900-1500℃擴展到**2400℃，應用場景由半導體單晶的同質/異質外延擴展到半導體晶圓生長（籽晶托架、導流筒、石墨坩堝、導流環）等領域。涂層材料的變革對石墨基材的熱膨脹系數、電學與化學穩定性、表面粗糙度、機械強度及熱導率提出了更高要求。
在高均勻溫度場中的處理溫度超過2400℃，華錦新材碳化鉭涂層石墨基材在電學與化學穩定性大幅度提高，材料均質性明顯改善，**密度差≤0.01g/cm3，電阻率≤10μΩm。
公司產品原料為超細顆粒，熱處理過程中，顆粒通過熔并一體化燒結，實現高度致密化，且平均密度值達到1.92g/cm3，平均孔徑≤0.4μm，開孔率≤12%，相比傳統石墨，表面粗糙度與加工性能明顯提升。公司產品制備工藝精確控制，微觀結構致密均勻、內部缺陷明顯降低，承受的極限外應力大幅度提高，使批量化產品的抗折強度≥80MPa，優級品抗折強度≥85MPa。
公司產品采用超長時間熱處理工藝，晶體結構完善，La，Lc值優化，平均石墨化度≥80%，熱導率≥145W/m*K。
性能參數
| 牌號 | 體積密度（g/cm3) | 熱膨脹系數（10-6/K） | 電阻率（μΩm） | 平均孔徑（μm） | 總孔隙率（%） | 抗彎強度（MPa） | 熱導率（W/m*K） |
| HJ-Ta-1 | 1.93 | 6.3（20～600℃） 7.1（1600℃） | 10-11 | ≤0.4 | ＜12 | 80-85 | ≥120 |
| HJ-Ta-2 | 1.95 | 6.3（20～600℃） 7.1（1600℃） | 10 | ≤0.3 | ＜11 | 85-90 | ≥145 |
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