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實現4寸結晶成長,GaN基板將提早量產


來源:化學工業日報

[導讀]  據日本化學工業日報報道,三菱化學與日本制鋼所合作研發的氮化鎵(Gallium Nitride; GaN)基板技術,經確認結晶成長已達4寸。今后將以大型實驗設備進行反覆驗證,預計2022年初推至量產,可望在2030年度成長至數百億規模的大型事業。

中國粉體網訊  據日本化學工業日報報道,三菱化學與日本制鋼所合作研發的氮化鎵(Gallium Nitride; GaN)基板技術,經確認結晶成長已達4寸。氮化鎵是鎵與氮的化合物,是實現超高效率元件的關鍵材料,業界相當期待正式普及化。今后將以大型實驗設備進行反覆驗證,預計2022年初推至量產,可望在2030年度成長至數百億規模的大型事業。相關人員表示,原先評估量產要到2023年以后,因開發狀況順利且超過預期,將提前投入市場。


這項研發源自于新能源產業技術總合開發機構(NEDO)推動的「實現低碳社會之次世代功率電子計劃」補助事業,并在GaN的結晶成長技術上展現成果。實證采用2021年5月剛竣工的全球最大規模GaN基板制造實證設備,加上獨家開發的「SCAAT(Super Critical Acidic Ammonia Technology)-LP」的制造技術,得以制作出高品質且低成本的GaN基板,并使之成長至4寸。比起試生產所用的設備,大型實證設備在規模上有大幅度的提升,因此可制造更大量的GaN基板。


(中國粉體網編輯整理/長安)

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