中國粉體網訊  近日，河南黃河旋風（600172）股份有限公司碳化硅切割專用金剛線鋸研發取得突破，經多家客戶使用，其產品性能已完全達到甚至超過日本同類產品水平，不論在切割效率、切割質量還是切割穩定性，均全面優于現有砂漿切割水平。

近年來，以氮化鎵、碳化硅為代表的第三代半導體產業發展迅猛，國家高度重視，企業積極布局，整個行業呈現爆發式的增長勢頭。碳化硅材料作為第三代半導體之一，具有優異的性能，同時也具有難加工的特點，其超高的硬脆性特點導致加工難度大、風險高、效率低、良品率不高，尤以切割為難點。目前市場上主要以金剛石砂漿切割為主，切割速度慢，效率低，砂漿利用率低，成本居高不下，砂漿用微粉供應已達極限，固結金剛線替代砂漿切割已成必然趨勢。

目前市場上能夠穩定供應的碳化硅切割線僅有日本某企業，在美日等國對我國芯片行業打壓的大背景下，碳化硅切割金剛線的國產化就特別迫切。然而碳化硅晶圓價值高，要求切割低風險、高質量，對金剛線的質量要求就極為嚴苛。

黃河旋風作為超硬材料龍頭企業，充分發揮全產業鏈覆蓋的優勢，多部門協同研發，利用其從日本住友引進吸收的金剛線設備和技術，深入開展金剛石線鋸對碳化硅的切割機理研究，重點對切割中金剛石的失效機理進行深入挖掘，適配了專用金剛石及微粉，確保了該產品優異的切割能力以及材料、產品質量的穩定性。

黃河旋風碳化硅切割專用金剛線線徑均勻、線絲圓度好、磨料分布均勻、出刃高。

在6英寸絕緣型及導電型碳化硅晶體的切割過程中，線弓小、無斷線，切割后晶面平整無線紋，切割用線量介于500-800m/片。

經多家客戶的切割使用驗證，切割后線徑磨損均勻，均取得穩定的切割數據，且可獲得同等于砂漿切割的晶片質量，可大幅提升切割效率降低生產成本。

　　附 表

（中國粉體網編輯整理/山川）

注：圖片非商業用途，存在侵權告知刪除