中國粉體網訊  7月4日，山東省陶瓷協會標準化技術委員會在淄博召開標準審查會，由山東硅元新型材料股份有限公司牽頭制定的《光刻機用氧化鋁陶瓷導軌》團體標準通過專家審定。

本次標準審查專家組由5人組成，涵蓋行業協會、科研機構、高校和先進陶瓷生產企業，會議首先聽取了標準起草單位的匯報，專家組對標準文本及技術內容進行了嚴格審查，并對部分內容提出了修改意見建議，專家組認為該標準制定程序規范、技術指標先進、試驗數據可靠，一致同意通過審定，編制單位根據專家意見修改完善后形成報批稿。

在半導體制程中，光刻機負責將設計好的電路圖從掩膜版轉印到晶圓表面的光刻膠上，通過曝光、顯影將目標圖形印刻到特定材料上。芯片在生產中需要進行20-30次的光刻，先進技術節點的芯片制造需要60-90步光刻工藝，耗時占到IC生產環節的50%左右，占芯片生產成本的1/3。因此，光刻機則成為了前道工序九大設備之首，在芯片生產線總投資的占比約為20%。

光刻機對精度有極高的要求，其中移動平臺是光刻機的重要系統，對光刻機的運行精度影響甚大，這就需要有效抵抗移動平臺在掃描過程中由于高速移動而產生的變形。另外，光刻機在加工芯片時會產生大量的熱，尺寸大小會發生明顯的改變。因此，平臺材料應具有較高比剛度的低熱膨脹材料，還要保證較高的導熱性能。

于是，導軌作為移動平臺的的關鍵部件，選材很關鍵。

氧化鋁陶瓷部件具有高硬度、高機械強度、超耐磨性、耐高溫、電阻率大、電絕緣性能好、導熱性能好等優異性能，是光刻機導軌用關鍵材料。

近年來，圍繞半導體設備用精密陶瓷部件“卡脖子”問題，硅元新材料利用多年來在先進陶瓷領域積累的技術優勢進行關鍵技術研究，開發了用于刻蝕、減薄、研磨、拋光、熱處理等半導體制造加工制程中所需的系列高精密陶瓷部件，替代同類進口產品。

光刻機用氧化鋁陶瓷導軌方面，硅元新材料在2014年組建項目組，聯合國內相關科研機構、企業開展深入合作，研制出可用作光刻機用陶瓷導軌99氧化鋁系列陶瓷材料和碳化硅陶瓷材料，生產出可替代國外同類產品的光刻機用氧化鋁陶瓷導軌系列產品，有效解決了我國精密陶瓷制造產業中存在的“卡脖子”關鍵問題，顯著提升了我國光刻機制造業和芯片制造產業的整體競爭力。

氧化鋁陶瓷導軌在內的半導體設備用精密陶瓷已成為制約我國半導體產業發展的關鍵一環，其中相關標準的缺失成為該領域的短板之一，此次《光刻機用氧化鋁陶瓷導軌》的制定無疑將對我國半導體設備用精密陶瓷行業的發展帶來積極的引導與促進作用。

參考來源：山東省陶瓷協會、中國粉體網

（中國粉體網/山川）

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