中國粉體網訊 近日,遼寧拓邦鴻基半導體材料股份有限公司在12英寸半導體石英器件領域取得了重大突破,成功通過了全球半導體設備龍頭國際電氣株式會社(KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION,簡稱KE集團)的供應商資格認證。
來源:拓邦鴻基官微
據了解,高純石英材料具有良好的透光性能、耐熱性能、電學性能、電絕緣性及化學穩定性,可以應用于半導體、光纖、光學和光伏等領域。在半導體行業中,高純石英主要用于制備石英坩堝和作為晶圓加工輔材。石英坩堝主要用于生長單晶硅,是半導體工業中不可或缺的容器;而在晶圓加工的刻蝕、擴散、氧化、退火等關鍵工序中,石英片、石英環、石英舟等高純石英輔材同樣發揮著不可替代的作用。
當前,國內半導體高端石英制品市場仍以外資企業為主導,本土企業在高端加工能力上與國際領先水平存在差距,國產化率相對較低。尤其是12英寸(300mm)高溫區石英制品,因半導體設備廠和晶圓廠(FAB)設置的認證門檻極高,長期以來國產化率處于低位,而獲得國際頭部設備廠認證,正是突破這一困境的核心環節。
來源:拓邦鴻基官微
遼寧拓邦鴻基半導體材料股份有限公司成立于2017年5月,是國內高純石英制品生產企業,主要從事半導體高純石英制品的研發、生產和銷售。憑借深厚的技術積累,公司已擁有50余項授權發明專利、軟件著作權及實用新型專利,并先后榮獲省科技型中小企業、省級專精特新小巨人企業、國家級高新技術企業、國家級專精特新小巨人企業等多項榮譽。
來源:東北新聞網
在產品布局上,拓邦鴻基構建了覆蓋氧化、擴散、外延、刻蝕、清洗等全工序的完整產品體系。經過多年技術攻關,其產品質量與性能獲得行業高度認可,已成功進入北方華創、長江存儲、聯電(UMC)、上海華虹等知名半導體企業的供應鏈。
作為全球十大半導體設備制造商之一,KE集團在爐管式ALD(原子層沉積)技術領域處于行業領先地位。該集團以沉積工藝和薄膜質量改進工藝為核心,其批量處理技術可一次完成數十片乃至更多晶圓的沉積,顯著提升生產效率,在半導體制造諸多關鍵環節中占據重要地位。
此次通過KE集團認證,不僅印證了拓邦鴻基的產品在純度、加工精度等關鍵指標上已達到國際先進水平,更為其拓展全球市場鋪平了道路。這一突破既是企業發展的里程碑,更標志著中國本土企業在半導體核心零部件領域的全球競爭力實現顯著躍升,為行業國產化進程注入強勁動力。
參考來源:拓邦鴻基官微、遼寧日報、東北新聞網
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