中國粉體網訊  2025年8月6日，在太原市科技局指導下，太原技術轉移促進中心、國投晉創谷發展運營有限公司、中北高新區技術產業開發區改革創新部、太原市尖草坪區科學技術局聯合舉辦企業科技成果路演活動。碳方程半導體設備制造（山西）有限公司進行了科技成果路演。

圖源：太原科技

碳方程半導體此次路演的核心是“超大尺寸金剛石半導體材料生長設備”。該設備堪稱半導體材料生長的“精密搖籃”，通過一系列技術創新攻克了行業關鍵難題。此項設備采用雙微波、四微波的矩陣平行輸入方式，微波等離子體呈“矩陣均勻分布”，通過對稱微波源輸入，多條并行石英管饋入，形成“平行矩陣”均勻饋入；根據電磁場場強值，決定饋入管間距，通過“強-（弱+弱）-強”邏輯實現電磁場“堆疊”；解決了反應區電磁場的均勻分布、等離子密度一致性，實現沉積臺溫場一致。

圖源：太原科技

碳方程半導體設備制造（山西）有限公司，主要從事第三、四代半導體材料專用設備的研發與制造，其核心業務為金剛石半導體材料MPCVD長晶設備的研發與生產，在此基礎上縱向重點拓展金剛石大尺寸材料的加工工藝、相關核心裝備的配套，旨在實現核心設備的自主化與產業化。

圖源：碳方程半導體官網

此次路演，碳方程半導體提出，企業計劃擬通過金融貸款或股權融資1000萬。資金用于研發投入、擴產、市場拓展和運營。依托山西在裝備制造領域的產業基礎與“晉創谷”的創新生態，碳方程半導體已構建起“三地協同”的研發與生產體系。其中，山西太原裝備生產基地承擔核心設備的制造與組裝任務，憑借本地完善的工業配套與技術工人儲備，確保設備生產的精度與效率；山西長治工藝研究重點實驗室則聚焦金剛石材料生長工藝優化，為設備性能迭代提供工藝驗證支持；深圳研發實驗室則專注前沿技術研發，保持核心技術的領先性。

這種“研發在前沿、制造在山西、工藝在本地優化”的布局，不僅讓企業扎根山西科創土壤，更充分整合了多地創新資源，為技術快速迭代與產業化落地奠定了堅實基礎。目前，企業已在金剛石半導體設備領域積累了多項核心技術，成為山西半導體裝備產業的重要力量。未來，企業致力成為國產金剛石半導體設備領域的頭部企業，助力中國半導體產業鏈自主化。

參考來源：太原科技、山西科技報新媒體、碳方程

（中國粉體網編輯整理/石語）

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