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在微孔的情況下，孔壁間的相互作用勢能相互重疊，微孔中的吸附比介孔大，因此在相對壓力＜0.01時就會發生微孔中的填充，孔徑在0.5~1nm的孔甚至在相對壓力10-5~10-7時即可產生吸附質的填充，所以微孔的測定與分析比介孔要復雜得多。顯然，把BJH孔徑分析方法延伸到微孔區域是錯誤的，兩個原因，其一，凱爾文方程在孔徑＜2nm時是不適用的；其二，毛細凝聚現象描述的孔中吸附質為液態，而在微孔中由于密集孔壁的交互作用，使得填充于微孔中的吸附質處于非液體狀態，因此孔徑分布的規律必須有新的理論及計算方法，宏觀熱力學的方法已遠遠不夠。

微孔測試的硬件條件也更嚴苛，至少系統的真空度要求更高，孔徑與填充壓力的大致關系如下：

D(nm)       0.4       0.6       0.8       1.2       2.0

P/Po        10^-7       10^-4      10^-3      10^-2      10^-1

需采用二級分子泵 ，并且壓力傳感器的精度要求更高，需增加小量程的壓力傳感器（10Torr 和 1Torr）進行分段測量